WWW.DOCX.LIB-I.RU
БЕСПЛАТНАЯ  ИНТЕРНЕТ  БИБЛИОТЕКА - Интернет материалы
 

«С.А. СТЕБЛИН, С.С. ЛЕБЕДЕВ, К.Д. ВАНЮХИН, А.А. ВОРОНОВА, С.В. МИННЕБАЕВНаучный руководитель – А.В. ВОЛОСОВ, к.т.н. Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» ...»

С.А. СТЕБЛИН, С.С. ЛЕБЕДЕВ, К.Д. ВАНЮХИН, А.А. ВОРОНОВА, С.В. МИННЕБАЕВНаучный руководитель – А.В. ВОЛОСОВ, к.т.н. Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО НИТРИДА КРЕМНИЯ НА КОНЦЕНТРАЦИЮ ВОДОРОДА В ПОЛУЧАЕМЫХ ПЛЕНКАХПроведены процессы осаждения пленок нитрида кремния методом плазмостимулированного осаждения из газовой фазы при различных параметрах технологического процесса. Исследованы основные электро-физические свойства пленок. На основании данных ИК-Фурье спектроскопии пленок определены атомарные концентрации элементов, входящих в их состав. Определены основные факторы, влияющие на количество водорода в пленках нитрида кремния.

В настоящее время для формирования межслойной изоляции и пассивации готовых структур используют пленки нитрида кремния, сформированные методом плазмостимулированного осаждения из газовой фазы (PECVD). Однако, при использовании данного метода, в формируемых покрытиях концентрация водорода может достигать 30-35 % [1,2] из-за его высокой концентрации в исходных реагентах. Высокое содержание водорода повышает токи утечки и ухудшает другие электрофизические свойства пленок [3,4]. Поэтому, одним из основных направлений исследований является снижение концентрации водорода в формируемых покрытиях.

В НИЯУ МИФИ в НОЦ «Нанотехнологии» было проведено исследование технологического процесса формирования пленок нитрида кремния методом PECVD. Целью данной работы являлось определение основных факторов, влияющих на количество водорода, содержащегося в формируемых покрытиях. Для решения поставленной задачи совместно с «ИПТМ ОСЧМ РАН» были проведены исследования спектров пропускания полученных покрытий. На основании данных о максимумах пиков поглощения были рассчитаны концентрации элементов, входящих в состав пленок.



На рис. 1 представлены спектры пропускания пленок нитрида кремния. Технологические параметры процесса осаждения влияют не только на концентрацию водорода, но и его распределение в формируемых покрытиях. По величине и форме пиков поглощения Si-H и N-H можно также судить о распределении связей водорода между кремнием и азотом.

Рис. 1. Спектры пропускания исследуемых образцов

На основании экспериментальных данных был проведен анализ зависимостей между параметрами технологического процесса и концентрацией водорода в пленках нитрида кремния.

Было обнаружено, что на распределение водорода в пленке оказывает существенное влияние частота задающего генератора. Так, при осаждении при частоте 380 кГц преобладают связи N-H, а при частоте осаждения 13,56 МГц – связи Si-H. Мощность осаждения и соотношения газов, подаваемых в камеру, влияют на общую концентрацию водорода. Но на форму зависимостей существенное влияние оказывает частота, при которой производится осаждение.

Список литературы

G. N. Parsons, J. H. Souk, and J. Batey. Low hydrogen content stoichiometric silicon nitride films depositedby plasma-enhanced chemical vapor deposition // J. Appl. Phys. – 1991. 70. P. 1553 – 1562.

Daniel Benoit, Pierre Morin, Jorge Regolini. Determination of silicon nitride film chemical composition to study hydrogendesorption // Thin Solid Films – 2011. 519. P. 6550–6553.

T. Karabacak, Y.-P. Zhao, G.-C. Wang, and T.-M. LuGrowth front roughening in silicon nitride films by plasma-enhanced chemical vapor deposition // Physical Review – 2002, B 66. P. 68 – 78.

Darius Vironis, Vytenis Sinkeviius, Viktoras Grigalinas, Sigitas Tamuleviius, Remigijus KALIASAS. Advanced Process Equipment for PECVD Silicon Nitride Deposition – an Experimental Study // Materials Science (Mediagotyra) – 2006. Vol. 12, No. 2. P. 1320 – 1324.

Похожие работы:

«Good Day. GRAIN, PRICE 06 DECEMBER 20141) BARLEY 8500 rubles (more $160) from the Elevator in Saratov (census to Map the Buyer) or 9500 rubles/ton (more $180) CPT port of Astrakhan or 9800 rubles/ton (more $186) approximately CPT ports Novorossiysk, Makhachkal...»

«Тест для внутришкольного итогового контроля по английскому языку в 8-м классе к учебнику М.З. Биболетовой Enjoy English1. Обведите кружком букву, соответствующую правильному вариа...»

«Кафе "Каспий" Холодные закуски из кисломолочных продуктов НаименованиеВыход(гр.)Цена(руб.) Сырное ассорти180/20/20300 (сыр брынза, эдам, сулугуни) Сыр "Брынза"100/10150 Сыр "Сулугуни"100/10150 Сыр "Эдам"100/10150 Сыр...»

«РАСТЕНИЯ, ЗАНЕСЕННЫЕ В КРАСНУЮ КНИГУ РЕСПУБЛИКИ УЗБЕКИСТАН В настоящее время защита природы и ее составной части — растительного мира становится наиболее важной проблемой современности. Мы должны защищать и охранять не только полезные растения, но и любые их виды, произрастающие на территории Узбекистана, и дове...»

«ГРЕЦИЯ, ОСТРОВ КРИТ ИЗ КРАСНОДАРА С 28/04/16 ПО 24/010/16 ОТ 221 У.Е. Заезды: По понедельникам и четвергамВ СТОИМОСТЬ ВХОДИТ: АВИАПЕРЕЛЕТ ИЗ КРАСНОДАРА, ПРОЖИВАНИЕ В ОТЕЛЕ, ПИТАНИЕ ПО ВЫБОРУ, СТРАХОВКА, ТРАНСФЕР.ЭКСКУРСИИ ЗА ДОП ПЛАТУ. КРУИЗ НА ОСТРОВ САНТОРИНИ(Экскурсия на о. Крит) Санторини – один из самых красивых и загад...»

«1 вариант1.Участок цепи состоит из трех последовательно соединенных резисторов сопротивлениями 6 Ом, 8 Ом и 9 Ом. Каково полное сопротивление участка?2.Участок цепи состоит из двух последовательно соединенных резисторов. Напряжение на первом резисторе 4 В. Определите напряжение на втором резисторе, если нап...»

«Интересные факты о жизни животных и растений Антилопы хорошо видят в любое время суток. Африканский слон – самое крупное сухопутное животное. Высоте его около 3,8 метров в холке; длина от конца хобота до кончика хвоста составляет 10 метров, а вес – 10,8 тонн. Африканские слоны живут 70...»

«Олимпиадные задания в закрытой форме 7-8 КЛАССЫ Вопросы и предлагаемые ответы Ответы Как звучит девиз Олимпийских игр? а) "Быстрее, выше, сильнее"; б) "Будь всегда первым"; в) "Спорт, здоровье, радость".   Что олицетворяет Олимпийский символ – пять перепле...»

«Варламова Мария Сергеевна, 10 класс. Нам, школьникам, в будущем предстоит нелёгкий выбор профессии. Очень важно не ошибиться. В разные времена были востребованы разные специальности. Мы живём в век информационных технологий, и наиболее востребованные и высокооплачиваемые профессии находятся именно в этой области....»








 
2017 www.docx.lib-i.ru - «Бесплатная электронная библиотека - интернет материалы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.